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簡要描述:在半導(dǎo)體和電子、TFT等行業(yè)中,由于對純化水的雜質(zhì)含量要求已經(jīng)到了接近理論純水的級別,防止超純水箱長期接觸空氣造成的污染(如:灰塵,細(xì)菌,氣體,有機(jī)物等),并保證工藝用水水質(zhì),作為廠務(wù)純水系統(tǒng)管理人員,必須掌握ZZYVP氮封閥的原理。
ZZYVP氮封閥應(yīng)用行業(yè):
在半導(dǎo)體和電子、TFT等行業(yè)中,由于對純化水的雜質(zhì)含量要求已經(jīng)到了接近理論純水的級別,防止超純水箱長期接觸空氣造成的污染(如:灰塵,細(xì)菌,氣體,有機(jī)物等),并保證工藝用水水質(zhì),作為廠務(wù)純水系統(tǒng)管理人員,必須掌握ZZYVP氮封閥的原理。
超純水氮封描述:
ZZYVP氮封閥是一種無須外來能源,利用被調(diào)介質(zhì)自身的壓力變化達(dá)到自動調(diào)節(jié)和穩(wěn)定閥后壓力為設(shè)定值。該閥壓力設(shè)定在指揮器上實現(xiàn),方便、快捷,壓力設(shè)定值在運(yùn)行中也可隨意調(diào)整;控制精度高,可比一般ZZY型直接操作自力式壓力調(diào)節(jié)閥高,適合于控制精度要求高的場合。它廣泛應(yīng)用于氮封水箱系統(tǒng)氮?dú)獗Wo(hù)自動調(diào)節(jié)裝置。
下圖是ZZYVP氮封閥一般工作原理圖:
氮封裝置由供氮裝置和泄氮裝置兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組成;泄氮裝置由內(nèi)反饋的壓開型微壓調(diào)節(jié)閥組成。氮?dú)鈮毫σ话阍O(shè)為100mmH2O.通過氮封裝置精確控制。
當(dāng)水箱上游水泵開啟,向超純水水箱補(bǔ)水時,水箱水位上升,氣相部分容積減小,壓力升高,當(dāng)水箱上部氣體空間壓力升至高于泄氮裝置壓力設(shè)定值時,泄氮裝置打開,向外界釋放氮?dú)?,使罐?nèi)壓力下降,當(dāng)降至泄氮裝置壓力設(shè)定點時,泄氮裝置自動關(guān)閉。當(dāng)水箱后級水泵開啟,用戶端開始用水時,液面下降,氣相部分容積增大,罐內(nèi)壓力降低,供氮裝置開啟,向儲罐注入氮?dú)?,使罐?nèi)壓力上升,當(dāng)罐內(nèi)壓力上升至供氮裝置自動關(guān)閉。
1.供氮裝置工作原理:
供氮裝置結(jié)構(gòu)如圖所示,將設(shè)在罐頂?shù)娜狐c的介質(zhì)經(jīng)導(dǎo)壓管引入檢測機(jī)構(gòu)(7)、介質(zhì)在檢測元件上產(chǎn)生一個作用力與彈簧(8)、預(yù)緊力相平衡。當(dāng)罐內(nèi)壓力降低至低于供氮裝置壓力設(shè)定點時,平衡被破壞,使指揮器閥芯(6)打開,從而使閥前氣體經(jīng)減壓閥(5)、節(jié)流閥(4)、進(jìn)入主閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)(3)上、下膜室,打主開閥閥芯(2)、向罐內(nèi)充注氮?dú)?;?dāng)罐內(nèi)壓力升至供氮裝置壓力設(shè)定點時,由于預(yù)設(shè)彈簧力,關(guān)閉指揮器閥芯(6)又由于主閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)中彈簧作用,關(guān)閉主閥,停止供氮。
2.泄氮裝置工作原理:
泄氮裝置結(jié)構(gòu)如右圖所示,該裝置采用內(nèi)反饋結(jié)構(gòu),介質(zhì)直接經(jīng)閥蓋進(jìn)入檢測機(jī)構(gòu)(2),介質(zhì)在檢測元件上產(chǎn)生一個作用力與預(yù)設(shè)彈簧(3)預(yù)緊力相平衡。當(dāng)罐內(nèi)壓力升高至高于泄氮裝置壓力設(shè)定點時,平衡被破壞,使閥芯(1)上移,打開閥門,向外界泄放氮?dú)?;?dāng)罐內(nèi)壓力降至泄氮裝置壓力設(shè)定點時,由于預(yù)設(shè)彈簧力作用,關(guān)閉閥門。
說明:
一般供氮?dú)鈮毫υ?×10^5-10×10^5Pa之間,罐頂呼吸閥僅起安全作用,是在主閥失靈,導(dǎo)致罐內(nèi)壓力過高或過低時,起到安全作用,在正常情況下不工作,泄氮閥安裝在罐頂,口徑一般與進(jìn)液閥口徑*,一般泄氮閥的壓力設(shè)定點略大于供氮閥的壓力設(shè)定點,以免供、泄氮裝置頻繁工作,浪費(fèi)氮?dú)?、影響設(shè)備的使用壽命
在超純水系統(tǒng)中,超純水水箱泄氮部分也可以采用水封的方式進(jìn)行,即從水箱上部氣體空間引出單獨(dú)的管道,末端浸入水槽液面中,液面高度根據(jù)水箱上部氣體空間允許的大正壓確定,也可以實現(xiàn)泄氮功能且比較經(jīng)濟(jì)。
解決超純水與空氣接觸的常用方法:
1、充氮法:即在水箱水面上充入氮?dú)馐瓜鋬?nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫Γ柚勾髿馀c箱內(nèi)水面接觸。
2、薄膜袋法:即在在水箱內(nèi)設(shè)置袋狀薄膜覆蓋于水面上,薄膜袋隨水位升降,減少水面與空氣接觸面積。
3、浮頂法:即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內(nèi)制成整塊板狀浮頂浮于水面,并用輕質(zhì)彈性材料(如海綿、發(fā)泡塑料等)遮蓋浮頂與箱間的間隙,浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機(jī)會。
在上述三種方法中又以氮封水箱常見,實施簡單,效果好。